沟槽深度/台阶高度 d检测服务

机构名称	被测（参量/仪器/物质）	校准类别/校准参量	测量仪器型号/校准方法	扩展不确定度	测量环境/影响量	测量等级
中国计量科学研究院	沟槽深度/台阶高度 d	表面形貌	干涉显微镜	数值:(6+30d), d in μm, 数值范围从 9 nm到 1200 nm 单位:nm 置信概率:95% 是否为Urel:否	参量:温度指标:20°C±1°C	最小:0.1 最大:40 单位:μm