| 机构名称 | 被测（参量/仪器/物质） | 校准类别/校准参量 | 测量仪器型号/校准方法 | 扩展不确定度 | 测量环境/影响量 | 测量等级 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 中国计量科学研究院 | 633nm稳频激光 | 激光辐射 | 激光拍频 |
数值:24 单位:kHz 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:温度 指标:23°C±1°C |
最小:633 最大:633 单位:nm |
| 中国计量科学研究院 | 633nm稳频激光 | 激光辐射 | 激光拍频 |
数值:24 单位:kHz 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:温度 指标:23°C±1°C |
最小:633 最大:633 单位:nm |
| 中国计量科学研究院 | 543nm稳频激光 | 激光辐射 | 碘吸收氦氖激光，激光拍频 |
数值:5E-10 单位:null 置信概率:95% 是否为Urel:是 |
参量:温度 指标:23°C±1°C |
最小:543 最大:543 单位:nm |
| 中国计量科学研究院 | 量块：中心长度L | 端度标准 | 小数重合方式干涉法 |
数值:Q[ 22, 0.2L ] L 是mm, 数值范围从 22 nm 到 30nm 单位:nm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:null 指标:null |
最小:0.5 最大:100 单位:mm |
| 中国计量科学研究院 | 量块：中心长度L | 端度标准 | 小数重合方式干涉法 |
数值:Q[ 70, 0.28L ], L 是mm, 数值范围从 78 nm 到 289nm 单位:nm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:null 指标:null |
最小:125 最大:1000 单位:mm |
| 中国计量科学研究院 | 量块：中心长度L | 端度标准 | 机械比较法 |
数值:Q[ 100, 1.0L ], L 是mm, 数值范围从 70 nm 到 141nm 单位:nm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:null 指标:null |
最小:0.5 最大:100 单位:mm |
| 中国计量科学研究院 | 量块：中心长度L | 端度标准 | 机械比较法 |
数值:Q[ 100, 1.0L ], L 是mm, 数值范围从160 nm 到 1050nm 单位:nm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:null 指标:null |
最小:125 最大:1000 单位:mm |
| 中国计量科学研究院 | 针规,球或球冠:直径 | 直径标准 | 一维接触式比较测量仪 |
数值:0.3 单位:μm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:null 指标:null |
最小:1 最大:200 单位:mm |
| 中国计量科学研究院 | 沟槽深度/台阶高度 d | 表面形貌 | 干涉显微镜 |
数值:(6+30d), d in μm, 数值范围从 9 nm到 1200 nm 单位:nm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:温度 指标:20°C±1°C |
最小:0.1 最大:40 单位:μm |
| 中国计量科学研究院 | 粗糙度: ISO 参数, Ra, Rq | 表面形貌 | 触针式轮廓仪 |
数值: (6 + 30Ra), Ra单位μm, 量值范围从7 nm到156 nm 单位: nm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:null 指标:null |
最小:0.025 最大:5 单位: μm |
| 中国计量科学研究院 | 步距规：测量面间长度L | 坐标测量机标准器 | 激光干涉仪+坐标机 |
数值: (0.4 + L/2), L 单位 m 单位:μm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量: 温度 指标:20°C±0.2°C |
最小:0 最大:1100 单位: mm |
| 中国计量科学研究院 | 633nm稳频激光 | 激光辐射 | 激光拍频 |
数值:24 单位:kHz 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:温度 指标:23°C±1°C |
最小:633 最大:633 单位:nm |
| 中国计量科学研究院 | 543nm稳频激光 | 激光辐射 | 碘吸收氦氖激光，激光拍频 |
数值:5E-10 单位:null 置信概率:95% 是否为Urel:是 |
参量:温度 指标:23°C±1°C |
最小:543 最大:543 单位:nm |
| 中国计量科学研究院 | 量块：中心长度L | 端度标准 | 小数重合方式干涉法 |
数值:Q[ 22, 0.2L ] L 是mm, 数值范围从 22 nm 到 30nm 单位:nm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:null 指标:null |
最小:0.5 最大:100 单位:mm |
| 中国计量科学研究院 | 量块：中心长度L | 端度标准 | 小数重合方式干涉法 |
数值:Q[ 70, 0.28L ], L 是mm, 数值范围从 78 nm 到 289nm 单位:nm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:null 指标:null |
最小:125 最大:1000 单位:mm |
| 中国计量科学研究院 | 量块：中心长度L | 端度标准 | 机械比较法 |
数值:Q[ 100, 1.0L ], L 是mm, 数值范围从 70 nm 到 141nm 单位:nm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:null 指标:null |
最小:0.5 最大:100 单位:mm |
| 中国计量科学研究院 | 量块：中心长度L | 端度标准 | 机械比较法 |
数值:Q[ 100, 1.0L ], L 是mm, 数值范围从160 nm 到 1050nm 单位:nm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:null 指标:null |
最小:125 最大:1000 单位:mm |
| 中国计量科学研究院 | 针规,球或球冠:直径 | 直径标准 | 一维接触式比较测量仪 |
数值:0.3 单位:μm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:null 指标:null |
最小:1 最大:200 单位:mm |
| 中国计量科学研究院 | 沟槽深度/台阶高度 d | 表面形貌 | 干涉显微镜 |
数值:(6+30d), d in μm, 数值范围从 9 nm到 1200 nm 单位:nm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:温度 指标:20°C±1°C |
最小:0.1 最大:40 单位:μm |
| 中国计量科学研究院 | 粗糙度: ISO 参数, Ra, Rq | 表面形貌 | 触针式轮廓仪 |
数值: (6 + 30Ra), Ra单位μm, 量值范围从7 nm到156 nm 单位: nm 置信概率:95% 是否为Urel:否 |
参量:null 指标:null |
最小:0.025 最大:5 单位: μm |
